喜讯！研究院牵头和参与申报三项工程中心获批！

喜 讯

2023年10月10日，海南省发展和改革委员会发布了关于下达2023年省级工程研究中心筹备建设计划的通知，其中海南大学三亚研究院（以下简称“研究院”）牵头建设的第三代宽禁带半导体材料与器件海南省工程研究中心、研究院与海航航空技术有限公司联合申报的航空器智慧维修海南省工程研究中心、研究院与海南省人民医院联合申报的医学影像海南省工程研究中心正式获批。

第三代宽禁带半导体材料与器件研究中心（以下简称“研究中心”）由牵头单位海南大学三亚研究院与合作单位海南大学物理与光电工程学院联合申报。研究中心依托研究院丰富的产学研资源及成果转化的全服务链优势，以及海南大学物理与光电工程学院在半导体材料领域的先进技术底蕴、工程化能力和人才资源，围绕碳化硅产业的“材料→外延→芯片设计→器件”产业链关键环节，开展技术研发、成果转化及人才培养。

研究中心已配齐外延生长工艺研发的关键研发设备，包括碳化硅外延炉、CV汞探针测试仪、傅里叶变换红外测试仪、氢气发生装置、氢气氩气纯化器等。目前正在进行100μm厚外延工艺验证，可对外提供10-30μm薄外延片的小规模生产、工艺开发及外延片浓度厚度测试等技术服务。

成果图

研究中心实验室

未来，研究中心作为半导体产业与科研之间的“桥梁”，将以市场为导向，研究开发产业技术进步急需的关键共性技术，推动海南省的第三代半导体产业发展，助力我国特定领域半导体技术的赶超与突破！

文字：孟凡超 范谞

图片：孟凡超
编辑：何籽萱

审核：刘谦、吕威